Arvuti mikroelektroonika ja infotehnoloogia arenguga edendati elektroonilise töötleva tööstuse kiiret arengut, see soodustab ka puhaste ruumide tehnoloogia arengut. Samal ajal esitatakse puhta ruumi projekteerimiseks kõrgemad nõuded, et vähendada defektset kiirust ja parandada elektroonilise töötleva tööstuse tootmistõhusust, on tolmuvaba töökoja disain väga põhjalik.
Puhta ruumi omadused:
Vaja on suurt puhtust, õhu mahtu, temperatuuri ja niiskust, diferentsiaalrõhku, seadmete heitgaaside juhtimist vastavalt vajadusele. Lisaks sellele on sellised puhtad ruumi nõuded staatilisele elektrile äärmiselt ranged demand ja nõudmine niiskuse järele on eriti kõrge. ruumi on lihtne toota staatilist elektrit, mille tulemuseks on CMOS-i integreerumise kahjustus. Gereraalselt öeldes tuleks elektroonilise tehase temperatuuri reguleerida avout 22, suhteline õhuniiskus paneb inimesed end mugavalt tundma. Chip töökoda, IC puhas tuba, Disk tootmine kauplus on oluline osa puhtas ruumis. Kuna elektroonilised tooted tootmisprotsessis on siseruumide õhu ja kvaliteedi nõue väga range. Peamine eesmärk on kontrollida osakesi ja tolmu. Mõningal ajal on kehtestatud temperatuuri ja õhuniiskuse, värske õhu mahu ja müra ranged eeskirjad.
1, müratase elektroonika tehases, 10-kohaline puhas ruum (tühi olek): mitte üle 65B (A)
2, vertikaalse voolu puhta ruumi jaotussuhe ei tohiks olla väiksem kui 60%, horisontaalne ühesuunaline voolukanali ruum ei tohiks olla väiksem kui 40%, vastasel juhul muutub see kohalikuks ühesuunaliseks vooluks.
3, Elektroonilise tootja puhta ruumi ja välise staatilise rõhu erinevus ei tohiks olla väiksem kui 10 Pa. Puhtate ja mittepuhaste alade staatilise rõhu erinevus ei tohiks olla väiksem kui 5Pa
4 Värske õhu kogus 10 tuhande palga puhtas ruumis on kahe järgmise elemendi maksimum:
1> Kompenseerimiskambri õhk välja ja hoiab positiivset siserõhku, mis nõuab kogu värske õhu kogust;
2> Veenduge, et puhta ruumi värske õhu tarnimine inimese kohta on vähemalt 40 tundi tunnis
Puhas ruumi HVAC-süsteemi küttekeha elektroonilises töötlevas tööstuses provided tuleb pakkuda värsket õhku, väljalülitatud temperatuuri kaitse. Kui punkt-niisutamist ei kasutata veekaitsega, tuleb külmades piirkondades värske õhu süsteem pakkuda külmumisvastaseid kaitsemeetmeid. Puhasruumi õhuvoolu maht peab elektroonilises tootjas olema kolm. Vastavalt soojus- ja niiskuskoormusele arvutatakse ja määratakse puhta ruumi õhuvarustus ja värske õhu juurdevool.
